中德國(guó)際科技合作專項(xiàng)項(xiàng)目——硅基磁性半導(dǎo)體的制備與性能的聯(lián)合研究,日前在硅基磁性敏感材料的制備等方面取得系列進(jìn)展,并在材料與信號(hào)處理電路集成設(shè)計(jì)和工藝中取得了突破。該成果在工業(yè)智能化制造、物聯(lián)網(wǎng)、汽車電子和消費(fèi)類電子領(lǐng)域有重要的應(yīng)用前景。
該項(xiàng)目由電子科技大學(xué)與德國(guó)研究機(jī)構(gòu)合作,利用中方在材料制備和理論計(jì)算等方面的優(yōu)勢(shì),結(jié)合德方在離子束注入、脈沖激光退火和極端條件下材料分析表征等方面的優(yōu)勢(shì),通過(guò)聯(lián)合研究,掌握了硅基高濃度、非平衡態(tài)磁性摻雜磁性半導(dǎo)體制備技術(shù),獲得了室溫高靈敏的與硅電路兼容的磁性敏感材料,并實(shí)現(xiàn)了與微電子電路的集成,制成了數(shù)字信號(hào)輸出的傳感器芯片。